利用线型摄影机（Line Camera）将安装于XYθ载台（Stage）上的晶圆芯片制成分析资料（Mapping Data）后，再以高解析度面型摄影机（Area Camera）同时检查多片芯片的装置。

此外，已将各种功能厚缩于精简的装置尺寸内。
W900×D760×H1500mm